M02100 - SEMI M21 - Guide for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array StdTpc-LCD Backlight Unit 本文書の範囲は，ホストから見たハンドリング装置の定義に限定される。装置通信インタフェースから見た装置のビューを定義する。装置の内部動作は定義しない。本文書には，このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。

本文書の範囲は，ホストから見たハンドリング装置の定義に限定される。装置通信インタフェースから見た装置のビューを定義する。装置の内部動作は定義しない。本文書には，このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。

SEMI E10-0304E (editorial revision)

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Equipment Communication Standards1 Messages Transfer (SECS-I) or the protocol defined in SEMI E37

M02100 - SEMI M21 - Guide for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array StdTpc-LCD Backlight Unit 本文書の範囲は，ホストから見たハンドリング装置の定義に限定される。装置通信インタフェースから見た装置のビューを定義する。装置の内部動作は定義しない。本文書には，このクラスのすべての装置の挙動の基礎としての独自のプロセシング状態モデルが含まれる。It is frequently very useful to have a standardized method for labeling elements in an array on a silicon wafer surface. This Guide defines an element addressing convention for locating and uniquely identifying rectangular elements in a Cartesian array. Such arrays are useful in locating sites for site flatness characterization, defect mapping, determination of parametric distributions, etc. on unpatterned semiconductor wafers. This Guide covers